পণ্য ওভারভিউ

এই 8-ইঞ্চি আইসিপি এচিং সিস্টেমটি মাঝারি/ছোট আইসি ফ্যাব এবং বিশেষ প্রক্রিয়াগুলির জন্য একটি ভর-উৎপাদন-গ্রেড ডিভাইস৷ একটি উচ্চ-স্থিতিশীলতা আইসিপি উত্স, নির্ভুল ভ্যাকুয়াম স্থানান্তর এবং বন্ধ-লুপ নিয়ন্ত্রণের বৈশিষ্ট্যযুক্ত, এটি সিলিকন, ধাতু এবং ডাইলেক্ট্রিকের অতি-নির্দিষ্ট খোঁচা সক্ষম করে৷ 8-ইঞ্চি মানগুলির সাথে সঙ্গতিপূর্ণ, এটি 0.11μm+ নোডগুলিকে সমর্থন করে এবং বিশেষ সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণের সাথে খাপ খায়, দক্ষতার ভারসাম্য এবং ব্যয়-কার্যকর সমাধানগুলির জন্য নমনীয়তা।

সুবিধা

সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ এবং উচ্চ ফলন

এখানে স্ব-অপ্টিমাইজ করা ICP উত্সটি সত্যিই একটি পার্থক্য তৈরি করে-এটি প্লাজমা অভিন্নতাকে 15% বাড়িয়ে দেয়, যার মধ্যে-ওয়েফার ইউনিফরমিটি 5% এর কম বা সমান এবং ওয়েফার-থেকে-ওয়েফার ইউনিফরমিটি 3% এর কম বা সমান। তারপর আছে 100:1 এচিং সিলেক্টিভিটি; যা সাবস্ট্রেটের ক্ষতিকে অনেকটাই কমিয়ে দেয় এবং স্বাভাবিকভাবেই, ফলনও একটি সুন্দর বৃদ্ধি পায়।

শক্তিশালী ভর-উৎপাদন এবং খরচ-সংরক্ষণ

আসুন কঠিন সংখ্যায় আসা যাক-এই সিস্টেমটি প্রতি মাসে 12,000 থেকে 15,000 ওয়েফার পরিচালনা করতে পারে৷ নির্ভরযোগ্যতাও দৃঢ়: MTBF 300 ঘন্টার বেশি, এবং MTBC 350 RF-ঘন্টা হিট করে৷ এছাড়াও, এর কমপ্যাক্ট ডিজাইন 30% জায়গা বাঁচায়, যার ফলে সামগ্রিক অপারেটিং খরচ 20% কম হয়-এটি বাজেটের জন্য একটি বড় জয়।

বিস্তৃত সামঞ্জস্য

সিলিকন, আল/ডব্লিউ ধাতু এবং SiO₂/Si₃N₄ ডাইলেক্ট্রিকের ক্ষেত্রে এটি বেশ বহুমুখী, সবই এর এচিং প্রক্রিয়ার সাথে কাজ করে। এবং মডুলার ইন্টারফেস একটি জীবন রক্ষাকারী; লজিক, মেমরি বা পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টরের জন্য পরামিতি পরিবর্তন করতে কোনো সময় লাগে না।

বুদ্ধিমান অপারেশন

টাচ ইন্টারফেসটি ব্যবহারকারীর-বান্ধব, এবং এটি একটি অন্তর্নির্মিত-ডাটাবেস এবং ত্রুটি নির্ণয়ের টুলের সাথে আসে। নতুন অপারেটর? তারা মাত্র এক সপ্তাহের মধ্যে গতি পেতে পারে। তার উপরে, বাস্তব-সময় নিরীক্ষণ রক্ষণাবেক্ষণ খরচ কমিয়ে আনতে সাহায্য করে-আর কোনো অপ্রয়োজনীয় খরচ নেই৷

অ্যাপ্লিকেশন

01/

মূলধারার 8-ইঞ্চি আইসি উত্পাদন:8-ইঞ্চি IC FEOL (গেট, STI) এবং BEOL (আল ওয়্যার, W প্লাগ) এচিং-এর জন্য কোর, 0.11μm-0.35μm লজিক/মেমরি চিপ ফিট।

02/

বিশেষায়িত ডিভাইস:IGBT/MOSFET ইলেক্ট্রোড এচিং এবং LED/সেন্সর প্যাটার্নিংয়ের জন্য কাস্টম রেসিপি।

03/

ক্ষমতা আপগ্রেড:পরিপক্ক 8-ইঞ্চি ফ্যাব ক্ষমতা প্রসারিত করে; নমনীয় মাল্টি-আকার স্থাপনার জন্য 6-ইঞ্চি সামঞ্জস্যপূর্ণ।

04/

গবেষণা ও উন্নয়ন এবং পাইলট উত্পাদন:বিশ্ববিদ্যালয় এবং উদ্যোগে নতুন উপাদান/প্রক্রিয়া R&D এর জন্য অপরিহার্য, পাইলট এবং ব্যাপক উৎপাদনের সংযোগ।

পরামিতি

শ্রেণী	বিস্তারিত
ওয়েফার সামঞ্জস্য	8-ইঞ্চি (200 মিমি) আইসি ওয়েফার; 6-ইঞ্চি ওয়েফারের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ (ঐচ্ছিক)
সমর্থিত প্রযুক্তি নোড	0.11μm – 0.35μm (মূলধারার নোড); বিশেষ প্রক্রিয়ার সাথে মানিয়ে নেওয়া যায়
চেম্বার কনফিগারেশন	উচ্চ-স্থায়িত্ব ICP উৎস + নির্ভুল ভ্যাকুয়াম স্থানান্তর মডিউল + ডেসকাম চেম্বার
Etchable উপকরণ	সিলিকন, অ্যালুমিনিয়াম (Al), টংস্টেন (W), সিলিকন অক্সাইড (SiO₂), সিলিকন নাইট্রাইড (Si₃N₄)
মূল প্রক্রিয়া কর্মক্ষমতা	- এর মধ্যে-ওয়েফার ইউনিফরমিটি: 5% এর কম বা সমান
উৎপাদন ক্ষমতা	12,000 - 15,000 ওয়েফার/মাস (মান প্রক্রিয়া)
নির্ভরযোগ্যতা মেট্রিক্স	- MTBF (ব্যর্থতার মধ্যে গড় সময়): ＞300 ঘন্টা- MTBC (পরিষ্কার মধ্যে গড় সময়): 350 RF-ঘন্টা
সিস্টেম বৈশিষ্ট্য	মাল্টি-প্যারামিটার বন্ধ-লুপ নিয়ন্ত্রণ; মডুলার প্রক্রিয়া ইন্টারফেস; বুদ্ধিমান দোষ নির্ণয়
স্থান প্রয়োজন	কমপ্যাক্ট ডিজাইন (অনুরূপ পণ্যের তুলনায় 30% স্থান-সঞ্চয়)
অপারেটিং খরচ সুবিধা	শিল্প গড় তুলনায় 20% কম ব্যাপক অপারেটিং খরচ