স্প্রে কোটার সরঞ্জাম

উত্তর: স্পিন কোটার প্রধানত সমতল ওয়েফার পৃষ্ঠের জন্য উপযুক্ত। স্প্রে কোটার গভীর গর্ত, সাইডওয়াল এবং উচ্চ আকৃতির অনুপাতের ধাপে কার্যকর কভারেজ উপলব্ধি করে অতিস্বনক পরমাণুযুক্ত ফটোরেসিস্ট প্রয়োগ করে। এটি জটিল পৃষ্ঠের টপোগ্রাফি সহ TSV এবং MEMS ডিভাইসগুলির জন্য আদর্শ।

উঃ হ্যাঁ। সিস্টেম ঐচ্ছিক COT (লেপ) এবং DEV (উন্নয়নশীল) চেম্বার সমর্থন করে। গ্রাহকরা প্রক্রিয়া প্রবাহ অনুযায়ী স্বতন্ত্র স্প্রে কোটার বা সম্মিলিত কোটার বিকাশকারী কনফিগারেশন নির্বাচন করতে পারেন।

উঃ হ্যাঁ। স্প্রে আবরণ প্রক্রিয়াটি বৃত্তাকার ওয়েফার এবং কাঁচের টুকরোগুলির মতো বর্গাকার স্তর উভয়ের সাথেই সামঞ্জস্যপূর্ণ, যা স্পিন আবরণ দ্বারা ভালভাবে প্রক্রিয়া করা যায় না। রেসিপি মূল্যায়নের জন্য সাবস্ট্রেট মাত্রা প্রদান করুন.

উত্তর: অপ্টিমাইজড রেসিপির অধীনে, ধাপ কভারেজ 30% এর চেয়ে বেশি বা সমান। বাস্তব বিশ্বের ফলাফল প্রকৃত বৈশিষ্ট্য গভীরতা, দৃষ্টিভঙ্গি অনুপাত এবং photoresist ধরনের সাপেক্ষে. আমরা প্রক্রিয়া টিউনিং সমর্থন অফার.

উঃ হ্যাঁ। চেম্বারের পরিমাণ 2 4 চেম্বার থেকে কনফিগার করা যেতে পারে। কমপ্যাক্ট সংস্করণগুলি R&D ট্রায়ালের জন্য উপযুক্ত, যখন মাল্টি চেম্বার সেটআপ ব্যাপক উত্পাদন লাইন পরিবেশন করে।

উত্তর: এটি বেশিরভাগ স্ট্যান্ডার্ড সেমিকন্ডাক্টর ফটোরেসিস্টের সাথে খাপ খায়। প্রকল্প বাস্তবায়নের আগে সম্ভাব্যতা যাচাইয়ের জন্য অনুগ্রহ করে আপনার ফটোরেসিস্ট মডেল এবং সান্দ্রতা শেয়ার করুন।