নিম্ন-তাপমাত্রার RTP সরঞ্জাম

এটি প্রধানত 8-ইঞ্চি ওয়েফার পরিচালনা করে এবং 6-ইঞ্চিও কাজ করে। ছোট এবং মাঝারি আকারের সেমিকন্ডাক্টর এবং অপটোইলেক্ট্রনিক ডিভাইস প্রক্রিয়াকরণের জন্য উপযুক্ত।

তাপমাত্রা 250 ডিগ্রী থেকে 500 ডিগ্রী পর্যন্ত, এবং নিয়ন্ত্রণ অত্যন্ত সুনির্দিষ্ট। ধ্রুব তাপমাত্রার অঞ্চলটি 860মিমি লম্বা, তাই এটি নিম্ন-তাপমাত্রার পরিসীমাকে সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করে-সম্পূর্ণভাবে সেমিকন্ডাক্টর এবং অপটোইলেক্ট্রনিক ডিভাইসের নিম্ন-তাপমাত্রার তাপ চিকিত্সার চাহিদা পূরণ করে!

প্রতি ব্যাচে 150টি ওয়েফার। এটি বিশ্ববিদ্যালয় এবং ল্যাবে ছোট-ব্যাচের পরীক্ষা-নিরীক্ষার জন্য যথেষ্ট, এবং এটি উভয় পক্ষের জন্য এন্টারপ্রাইজের ব্যাপক উৎপাদনের দক্ষতার চাহিদার সাথে তাল মিলিয়ে রাখে-।

এটি লিথিয়াম নিওবেট এবং সিলিকনের মতো উপাদানগুলি প্রক্রিয়া করতে পারে। সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস যেমন CMOS এবং IGBT, প্লাস VCSEL-এর মতো অপটোইলেক্ট্রনিক ডিভাইস তৈরির জন্য দারুণ। সমস্ত মূলধারার উপাদান প্রয়োজনীয়তা কভার.

প্রক্রিয়াকরণের সময় কণার হস্তক্ষেপ কমাতে এটিতে উন্নত কণা দূষণ নিয়ন্ত্রণ এবং দক্ষ পরিশোধন প্রযুক্তি রয়েছে। এছাড়াও, উচ্চ-নির্ভুলতা তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অক্সিডেশন এবং অ্যানিলিংয়ের মতো প্রক্রিয়াগুলিকে অভিন্ন এবং স্থিতিশীল রাখে-পণ্যের ফলন নিয়ে চিন্তা করার দরকার নেই৷