পণ্য ওভারভিউ
নাইস-টেকের ইলেক্ট্রন বিম ইভাপোরেটর হল বিভিন্ন শিল্প উৎপাদন এবং বৈজ্ঞানিক গবেষণার প্রয়োজনের জন্য উন্নত-কার্যক্ষমতা সম্পন্ন PVD (শারীরিক বাষ্প জমা) সরঞ্জামগুলির একটি সিরিজ। কভারিং ওয়েফার-লেভেল ভর উৎপাদন, বড়-আকারের ওয়ার্কপিস আবরণ, ছোট-ব্যাচের R&D, এবং বিশেষ প্রক্রিয়ার পরিস্থিতি, পণ্য লাইনে একাধিক মডেল রয়েছে যেমন EBE 700, EBE 600 / EBE 600P, EBE 500, EBE 400P, EBE302, EBE300 /EBE 200P, EBE 100. প্রতিটি সিস্টেম উন্নত ভ্যাকুয়াম আবরণ প্রযুক্তি এবং বিশ্বমানের মূল উপাদানগুলিকে সংহত করে (এডওয়ার্ডস, ফাইফার এবং MKS এর মতো ব্র্যান্ডগুলি থেকে), স্বয়ং-বিকশিত VKOS সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা, পুনঃস্থাপনযোগ্য ফিল্ম এবং ফিল্ম ডিপোজিট করা নিশ্চিত করে।
পণ্য সিরিজে বিভিন্ন স্থান এবং প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তার সাথে খাপ খাইয়ে নেওয়ার জন্য-একক-চেম্বার, দ্বৈত-চেম্বার, এবং কমপ্যাক্ট কনফিগারেশন- সহ নমনীয় কাঠামোগত নকশা রয়েছে৷ মূল কর্মক্ষমতা সূচকগুলি আলাদা: আবরণের অভিন্নতা ±2% (অধিকাংশ মডেল) এবং ±3% (কম্প্যাক্ট মডেল) হিসাবে সুনির্দিষ্ট, চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম 1E-5Pa থেকে 2E-5Pa পর্যন্ত পৌঁছায়, এবং তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের রেঞ্জ -50 ডিগ্রি থেকে 50 ডিগ্রী পর্যন্ত বা RT5 ডিগ্রী থেকে 50 ডিগ্রী পর্যন্ত বিস্তৃত হয় বিভিন্ন উপকরণের। ওয়েফার-লেভেলের ভর উৎপাদন, জটিল মাল্টি-লেয়ার ফিল্ম প্রস্তুতি, বা পরীক্ষাগার R&D যাচাইকরণই হোক না কেন, Vikaitech-এর ইলেক্ট্রন বিম বাষ্পীভবন সিস্টেমগুলি উপযোগী সমাধান সরবরাহ করে।
সুবিধা
- উচ্চতর ফিল্মের গুণমান এবং উচ্চ সামঞ্জস্য
- লক্ষ্যযুক্ত প্রয়োজনের জন্য বৈচিত্র্যময় মডেল
- উচ্চ অটোমেশন এবং সহজ রক্ষণাবেক্ষণ
- শক্তিশালী সামঞ্জস্য এবং কাস্টমাইজেশন
- নির্ভরযোগ্য মূল কনফিগারেশন
অ্যাপ্লিকেশন
- সেমিকন্ডাক্টর এবং মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স
- অপটোইলেক্ট্রনিক্স এবং অপটিক্যাল কমিউনিকেশন
- মহাকাশ এবং ইনফ্রারেড সনাক্তকরণ
- বায়োমেডিসিন এবং নতুন উপাদান
- শিল্প ব্যাপক উৎপাদন
- বৈজ্ঞানিক গবেষণা ও বিশ্ববিদ্যালয়
পরামিতি
|
আইটেম |
EBE 700 (উচ্চ-শেষ ভর উৎপাদন প্রকার) |
EBE 600/ EBE 600P (উৎপাদন ডুয়াল-চেম্বারের প্রকার) |
EBE 500 (ইউনিভার্সাল ডুয়াল-চেম্বার টাইপ) |
EBE 400 (R&D ডুয়াল-চেম্বারের ধরন) |
EBE300 /EBE 300P (উৎপাদন একক-চেম্বারের প্রকার) |
EBE 200 /EBE 200P (ইউনিভার্সাল সিঙ্গেল-চেম্বার টাইপ) |
EBE 100 (কম্প্যাক্ট টাইপ) |
|
আবরণ অভিন্নতা |
±2% |
±3% |
|||||
|
আবরণ পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা |
±2% |
||||||
|
চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম |
2E-5Pa |
1E-5Pa |
1E-5Pa |
1E-5Pa |
2E-5Pa |
1E-5Pa |
1E-5Pa |
|
তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ পরিসীমা |
RT ~ 200 ডিগ্রি |
RT ~ 300 ডিগ্রি |
RT ~ 500 ডিগ্রি |
RT ~ 500 ডিগ্রি |
RT ~ 300 ডিগ্রি |
RT ~ 500 ডিগ্রি |
-50 ডিগ্রী ~ 500 ডিগ্রী |
|
অভিন্ন জমা এলাকা |
ওয়েফার-স্তর (বৃহৎ উৎপাদনের জন্য 8-ইঞ্চি এবং উপরে) |
বড়-আকারের ওয়ার্কপিস (1000mm × 1000mm এর কম বা সমান) |
সর্বজনীন আকার (উৎপাদন এবং গবেষণা ও উন্নয়নের জন্য উপযুক্ত) |
ছোট-থেকে-মাঝারি ব্যাচের ওয়ার্কপিস (R&D এবং ছোট-স্কেল উৎপাদন) |
বড়-আকারের ওয়ার্কপিস (1000মিমি ×1000মিমি এর কম বা সমান) |
সর্বোচ্চ Ø300 মিমি (ওয়েফার/ওয়ার্কপিস) |
ল্যাবরেটরি-স্কেল ছোট আকার (Ø150mm এর চেয়ে কম বা সমান) |
|
চেম্বারের ধরন |
একক চেম্বার (ওয়েফার-লেভেল সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়) |
ডুয়াল চেম্বার (উৎপাদনের ধরন, স্বাধীন প্রক্রিয়া চেম্বার) |
ডুয়াল চেম্বার (ইউনিভার্সাল টাইপ, মিউচুয়াল লোড লক) |
ডুয়াল চেম্বার (আর অ্যান্ড ডি টাইপ, আপার-লোয়ার চেম্বার লোড লক) |
একক চেম্বার (উৎপাদনের ধরন, বড় চেম্বার) |
একক চেম্বার (ইউনিভার্সাল টাইপ, স্ট্যান্ডার্ড চেম্বার) |
একক চেম্বার (কমপ্যাক্ট টাইপ, ছোট চেম্বার) |
|
লোডিং সিস্টেম |
স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার স্থানান্তর |
স্বয়ংক্রিয় রোবট স্থানান্তর |
একক/মাল্টি{{0}ওয়েফার স্বয়ংক্রিয় লোড লক |
একক/মাল্টি{{0}ওয়েফার স্বয়ংক্রিয় লোড লক |
স্বয়ংক্রিয় রোবট স্থানান্তর |
ম্যানুয়াল/সেমি-স্বয়ংক্রিয় লোডিং |
ম্যানুয়াল লোডিং (পোর্টেবল) |
|
L×W×H(m) |
8.5×5.5×3.3 |
4.4×4.1×2.6 |
4.0×3.1×2.9 |
3.0×2.5×2.2 |
4.05×3.9×2.8 |
3.35×2.8×2.2 |
3.15×2.4×2.2 |
|
নেট ওজন (প্রায়) |
12000 কেজি |
8500 কেজি |
6800 কেজি |
4200 কেজি |
7200 কেজি |
5500 কেজি |
3800 কেজি |
FAQ
প্রশ্ন: মূল আবেদন কি?
উত্তর: সেমিকন্ডাক্টর, অপটোইলেক্ট্রনিক্স, মহাকাশ, বায়োমেডিসিন, এবং নতুন উপাদান R&D-এর জন্য উচ্চ-নির্ভুলতা পাতলা-ফিল্ম ডিপোজিশন।
প্রশ্ন: কি উপকরণ সামঞ্জস্যপূর্ণ?
উত্তর: ধাতু (আল, এউ), অস্তরক (SiO₂), অর্ধপরিবাহী, যৌগ, সিরামিক; T360 ইন্ডিয়াম জমার জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে।
প্রশ্ন: মূল কর্মক্ষমতা চশমা?
A: আবরণ অভিন্নতা ±2% (উৎপাদন মডেল)/±3% (R&D/কম্প্যাক্ট); পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ±2%; চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম 1E-5Pa~2E-5Pa।
প্রশ্ন: কনফিগারেশন আপগ্রেড করা যেতে পারে?
উত্তর: হ্যাঁ-আয়ন উত্স, প্রাক-ভ্যাকুয়াম চেম্বার, ফিক্সচার, বা স্বয়ংক্রিয় লোডলক (মডেল-নির্ভর) যোগ করুন।
প্রশ্ন: ইনস্টলেশন ও প্রশিক্ষণ অন্তর্ভুক্ত?
উ: অন-সাইট ইনস্টলেশন/কমিশনিং + অপারেশন/রক্ষণাবেক্ষণ প্রশিক্ষণ; দূরবর্তী নির্দেশিকা উপলব্ধ।
গরম ট্যাগ: ইলেক্ট্রন মরীচি বাষ্পীভবনকারী, চীন ইলেক্ট্রন মরীচি বাষ্পীভবন নির্মাতারা, সরবরাহকারী

