ইলেক্ট্রন বিম ইভাপোরেটর

ইলেক্ট্রন বিম ইভাপোরেটর

এই ওয়েফার স্ক্রাবারটি একটি সত্যিকারের ওয়ার্কহরস—6-ইঞ্চি থেকে 12-ইঞ্চি ওয়েফারগুলি পরিচালনা করে এবং ওয়েফার ফ্যাব্রিকেশন এবং উন্নত প্যাকেজিং ওয়ার্কফ্লো উভয়ের সাথেই ফিট করে।
অনুসন্ধান পাঠান
বিবরণ

পণ্য ওভারভিউ

 

নাইস-টেকের ইলেক্ট্রন বিম ইভাপোরেটর হল বিভিন্ন শিল্প উৎপাদন এবং বৈজ্ঞানিক গবেষণার প্রয়োজনের জন্য উন্নত-কার্যক্ষমতা সম্পন্ন PVD (শারীরিক বাষ্প জমা) সরঞ্জামগুলির একটি সিরিজ। কভারিং ওয়েফার-লেভেল ভর উৎপাদন, বড়-আকারের ওয়ার্কপিস আবরণ, ছোট-ব্যাচের R&D, এবং বিশেষ প্রক্রিয়ার পরিস্থিতি, পণ্য লাইনে একাধিক মডেল রয়েছে যেমন EBE 700, EBE 600 / EBE 600P, EBE 500, EBE 400P, EBE302, EBE300 /EBE 200P, EBE 100. প্রতিটি সিস্টেম উন্নত ভ্যাকুয়াম আবরণ প্রযুক্তি এবং বিশ্বমানের মূল উপাদানগুলিকে সংহত করে (এডওয়ার্ডস, ফাইফার এবং MKS এর মতো ব্র্যান্ডগুলি থেকে), স্বয়ং-বিকশিত VKOS সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা, পুনঃস্থাপনযোগ্য ফিল্ম এবং ফিল্ম ডিপোজিট করা নিশ্চিত করে।


পণ্য সিরিজে বিভিন্ন স্থান এবং প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তার সাথে খাপ খাইয়ে নেওয়ার জন্য-একক-চেম্বার, দ্বৈত-চেম্বার, এবং কমপ্যাক্ট কনফিগারেশন- সহ নমনীয় কাঠামোগত নকশা রয়েছে৷ মূল কর্মক্ষমতা সূচকগুলি আলাদা: আবরণের অভিন্নতা ±2% (অধিকাংশ মডেল) এবং ±3% (কম্প্যাক্ট মডেল) হিসাবে সুনির্দিষ্ট, চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম 1E-5Pa থেকে 2E-5Pa পর্যন্ত পৌঁছায়, এবং তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের রেঞ্জ -50 ডিগ্রি থেকে 50 ডিগ্রী পর্যন্ত বা RT5 ডিগ্রী থেকে 50 ডিগ্রী পর্যন্ত বিস্তৃত হয় বিভিন্ন উপকরণের। ওয়েফার-লেভেলের ভর উৎপাদন, জটিল মাল্টি-লেয়ার ফিল্ম প্রস্তুতি, বা পরীক্ষাগার R&D যাচাইকরণই হোক না কেন, Vikaitech-এর ইলেক্ট্রন বিম বাষ্পীভবন সিস্টেমগুলি উপযোগী সমাধান সরবরাহ করে।

 

সুবিধা

 

  • উচ্চতর ফিল্মের গুণমান এবং উচ্চ সামঞ্জস্য
  • লক্ষ্যযুক্ত প্রয়োজনের জন্য বৈচিত্র্যময় মডেল
  • উচ্চ অটোমেশন এবং সহজ রক্ষণাবেক্ষণ
  • শক্তিশালী সামঞ্জস্য এবং কাস্টমাইজেশন
  • নির্ভরযোগ্য মূল কনফিগারেশন

 

অ্যাপ্লিকেশন

 

  • সেমিকন্ডাক্টর এবং মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স
  • অপটোইলেক্ট্রনিক্স এবং অপটিক্যাল কমিউনিকেশন
  • মহাকাশ এবং ইনফ্রারেড সনাক্তকরণ
  • বায়োমেডিসিন এবং নতুন উপাদান
  • শিল্প ব্যাপক উৎপাদন
  • বৈজ্ঞানিক গবেষণা ও বিশ্ববিদ্যালয়

 

পরামিতি

 

আইটেম

EBE 700 (উচ্চ-শেষ ভর উৎপাদন প্রকার)

EBE 600/ EBE 600P (উৎপাদন ডুয়াল-চেম্বারের প্রকার)

EBE 500 (ইউনিভার্সাল ডুয়াল-চেম্বার টাইপ)

EBE 400 (R&D ডুয়াল-চেম্বারের ধরন)

EBE300 /EBE 300P (উৎপাদন

একক-চেম্বারের প্রকার)

EBE 200 /EBE 200P (ইউনিভার্সাল সিঙ্গেল-চেম্বার টাইপ)

EBE 100 (কম্প্যাক্ট টাইপ)

আবরণ অভিন্নতা

±2%

±3%

আবরণ পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা

±2%

চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম

2E-5Pa

1E-5Pa

1E-5Pa

1E-5Pa

2E-5Pa

1E-5Pa

1E-5Pa

তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ পরিসীমা

RT ~ 200 ডিগ্রি

RT ~ 300 ডিগ্রি

RT ~ 500 ডিগ্রি

RT ~ 500 ডিগ্রি

RT ~ 300 ডিগ্রি

RT ~ 500 ডিগ্রি

-50 ডিগ্রী ~ 500 ডিগ্রী

অভিন্ন জমা এলাকা

ওয়েফার-স্তর (বৃহৎ উৎপাদনের জন্য 8-ইঞ্চি এবং উপরে)

বড়-আকারের ওয়ার্কপিস (1000mm × 1000mm এর কম বা সমান)

সর্বজনীন আকার (উৎপাদন এবং গবেষণা ও উন্নয়নের জন্য উপযুক্ত)

ছোট-থেকে-মাঝারি ব্যাচের ওয়ার্কপিস (R&D এবং ছোট-স্কেল উৎপাদন)

বড়-আকারের ওয়ার্কপিস (1000মিমি ×1000মিমি এর কম বা সমান)

সর্বোচ্চ Ø300 মিমি (ওয়েফার/ওয়ার্কপিস)

ল্যাবরেটরি-স্কেল ছোট আকার (Ø150mm এর চেয়ে কম বা সমান)

চেম্বারের ধরন

একক চেম্বার (ওয়েফার-লেভেল সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয়)

ডুয়াল চেম্বার (উৎপাদনের ধরন, স্বাধীন প্রক্রিয়া চেম্বার)

ডুয়াল চেম্বার (ইউনিভার্সাল টাইপ, মিউচুয়াল লোড লক)

ডুয়াল চেম্বার (আর অ্যান্ড ডি টাইপ, আপার-লোয়ার চেম্বার লোড লক)

একক চেম্বার (উৎপাদনের ধরন, বড় চেম্বার)

একক চেম্বার (ইউনিভার্সাল টাইপ, স্ট্যান্ডার্ড চেম্বার)

একক চেম্বার (কমপ্যাক্ট টাইপ, ছোট চেম্বার)

লোডিং সিস্টেম

স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার স্থানান্তর

স্বয়ংক্রিয় রোবট স্থানান্তর

একক/মাল্টি{{0}ওয়েফার স্বয়ংক্রিয় লোড লক

একক/মাল্টি{{0}ওয়েফার স্বয়ংক্রিয় লোড লক

স্বয়ংক্রিয় রোবট স্থানান্তর

ম্যানুয়াল/সেমি-স্বয়ংক্রিয় লোডিং

ম্যানুয়াল লোডিং (পোর্টেবল)

L×W×H(m)

8.5×5.5×3.3

4.4×4.1×2.6

4.0×3.1×2.9

3.0×2.5×2.2

4.05×3.9×2.8

3.35×2.8×2.2

3.15×2.4×2.2

নেট ওজন (প্রায়)

12000 কেজি

8500 কেজি

6800 কেজি

4200 কেজি

7200 কেজি

5500 কেজি

3800 কেজি

 

FAQ

 

প্রশ্ন: মূল আবেদন কি?

উত্তর: সেমিকন্ডাক্টর, অপটোইলেক্ট্রনিক্স, মহাকাশ, বায়োমেডিসিন, এবং নতুন উপাদান R&D-এর জন্য উচ্চ-নির্ভুলতা পাতলা-ফিল্ম ডিপোজিশন।

প্রশ্ন: কি উপকরণ সামঞ্জস্যপূর্ণ?

উত্তর: ধাতু (আল, এউ), অস্তরক (SiO₂), অর্ধপরিবাহী, যৌগ, সিরামিক; T360 ইন্ডিয়াম জমার জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে।

প্রশ্ন: মূল কর্মক্ষমতা চশমা?

A: আবরণ অভিন্নতা ±2% (উৎপাদন মডেল)/±3% (R&D/কম্প্যাক্ট); পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ±2%; চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম 1E-5Pa~2E-5Pa।

প্রশ্ন: কনফিগারেশন আপগ্রেড করা যেতে পারে?

উত্তর: হ্যাঁ-আয়ন উত্স, প্রাক-ভ্যাকুয়াম চেম্বার, ফিক্সচার, বা স্বয়ংক্রিয় লোডলক (মডেল-নির্ভর) যোগ করুন।

প্রশ্ন: ইনস্টলেশন ও প্রশিক্ষণ অন্তর্ভুক্ত?

উ: অন-সাইট ইনস্টলেশন/কমিশনিং + অপারেশন/রক্ষণাবেক্ষণ প্রশিক্ষণ; দূরবর্তী নির্দেশিকা উপলব্ধ।

 

গরম ট্যাগ: ইলেক্ট্রন মরীচি বাষ্পীভবনকারী, চীন ইলেক্ট্রন মরীচি বাষ্পীভবন নির্মাতারা, সরবরাহকারী

অনুসন্ধান পাঠান