পণ্য ওভারভিউ
এই একক ওয়েফার ক্লিনারটি বিশেষভাবে সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার কাজের জন্য তৈরি করা হয়েছে{0}} 8-ইঞ্চি থেকে 12-ইঞ্চি ফর্ম্যাটগুলিকে কভার করে, কোনও ব্যতিক্রম নেই৷ প্রতিটি মডেল সুনির্দিষ্ট প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণের সাথে আসে (চিন্তা করুন গরম, ঘনত্ব, প্রবাহের হার) এবং SECS/GEM যোগাযোগ, তাই এটিকে স্মার্ট ফ্যাবগুলিতে একীভূত করা একটি হাওয়া। আরও ভাল, এটি আপনার অ্যাপ্লিকেশনের যা প্রয়োজন তা মেলে সম্পূর্ণরূপে কনফিগারযোগ্য।
সিরিজটি কীভাবে ভেঙে যায় তা এখানে:
SWC 100:
12-ইঞ্চি ওয়েফারকে মাথায় রেখে ডিজাইন করা হয়েছে৷ এটির 8টি চেম্বার রয়েছে এবং এটি 4টি FOUP-এর সাথে কাজ করে, আপনার প্রতিদিনের-প্রয়োজনীয় সমস্ত স্ট্যান্ডার্ড ভেজা প্রক্রিয়া পরিচালনা করে৷
SWC 200:
আরেকটি 12-ইঞ্চি ফোকাসড বিকল্প, কিন্তু 8 এর পরিবর্তে একটি বুস্ট-12 চেম্বার সহ, প্লাস 4 FOUP সামঞ্জস্যপূর্ণ। মূল প্রক্রিয়া? হুবহু SC3100 এর মতই, তাই কোন নতুন শেখার বক্ররেখা নেই।
এসইসি প্লাস:
নমনীয় এক গুচ্ছ. এটি একইভাবে 8-ইঞ্চি এবং 12-ইঞ্চি ওয়েফারের সাথে কাজ করে এবং আপনি চেম্বারের সংখ্যা 2 থেকে 8 পর্যন্ত কাস্টমাইজ করতে পারেন৷ পাওয়ার ডিভাইস এবং সিলিকন-ভিত্তিক প্রক্রিয়া সেটআপগুলির জন্য উপযুক্ত৷
সুবিধা
◆ বিন্যাস এবং কনফিগারেশন নমনীয়তা
SWC100 / SWC 200: উচ্চ-ভলিউম স্ট্যান্ডার্ড উৎপাদনের জন্য স্থির 12-ইঞ্চি সমর্থন (8/12 চেম্বার)।
এসইসি প্লাস: 8–12-ইঞ্চি সামঞ্জস্য + কাস্টমাইজযোগ্য চেম্বার, মিশ্র-ফরম্যাট/পাওয়ার ডিভাইস ওয়ার্কফ্লোতে অভিযোজিত।
◆ সুনির্দিষ্ট প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ
সমস্ত মডেল: গরম/ঘনত্ব/প্রবাহ/চাপ নিয়ন্ত্রণ, প্লাস ঐচ্ছিক রসায়ন (DHF, SC1, ইত্যাদি) এবং অভিন্ন প্রক্রিয়াকরণের জন্য 3ea অগ্রভাগ।
এসইসি প্লাস: অ্যাসিড/বেস/জৈব নিষ্কাশন বিচ্ছেদ + রাসায়নিক পুনরুদ্ধার, সুরক্ষা এবং খরচ দক্ষতা বাড়ায়।
◆ বিস্তৃত সামঞ্জস্য
SWC100 / SWC 200: 12-ইঞ্চি ফ্যাব ইন্টিগ্রেশনের জন্য 4FOUP ক্যারিয়ার সমর্থন।
SEC প্লাস: 2-4 ওপেন ক্যাসেট/SMIF/FOUP সামঞ্জস্য, উপযুক্ত উত্তরাধিকার এবং আধুনিক উৎপাদন লাইন।
অ্যাপ্লিকেশন
SWC100 / SWC 200 (12-ইঞ্চি ওয়েফার)
মূল প্রক্রিয়া: আরসিএ পরিষ্কার, গেট পরিষ্কার, অক্সাইড এচিং/স্ট্রিপিং, ফটোরেসিস্ট অপসারণ।
নির্দিষ্ট ব্যবহার: কণা/ধাতু/জৈব দূষণ অপসারণ, প্রি/পোস্ট-ক্লিনিং, আল/কিউ ইন্টারকানেক্ট ক্লিনিং (লজিক/মেমরি চিপের জন্য)।
SEC প্লাস (8-12-ইঞ্চি ওয়েফার)
টার্গেট ডিভাইস: সিলিকন কার্বাইড/সিলিকন পাওয়ার ডিভাইস, সিলিকন-ভিত্তিক প্রক্রিয়া ডিভাইস।
নির্দিষ্ট প্রক্রিয়া: ব্যাকসাইড পাতলা করা/পরিষ্কার করা, পাতলা ওয়েফার পরিষ্কার করা, উচ্চ-তাপমাত্রা H3PO4 এচিং, প্লাস স্ট্যান্ডার্ড দূষণ অপসারণ এবং ইন্টারকানেক্ট ক্লিনিং।
পরামিতি
|
স্পেসিফিকেশন |
SWC100 |
SWC 200 |
এসইসি প্লাস |
|
ওয়েফার সাইজ |
12 ইঞ্চি |
12 ইঞ্চি |
8-12 ইঞ্চি |
|
চেম্বার |
8টি চেম্বার |
12টি চেম্বার |
2-8 চেম্বার (কাস্টমাইজযোগ্য) |
|
ক্যারিয়ার সামঞ্জস্য |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 খুলুন ক্যাসেট/SMIF/FOUP |
|
সমর্থিত রসায়ন |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
Etchant,SC1+মেগাসনিক,DHF,DICO2,N2 |
|
প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ বৈশিষ্ট্য |
গরম/ঘনত্ব/প্রবাহ/চাপ নিয়ন্ত্রণ |
গরম/ঘনত্ব/প্রবাহ/চাপ নিয়ন্ত্রণ |
গরম/ঘনত্ব/প্রবাহ/চাপ নিয়ন্ত্রণ |
|
রাসায়নিক সরবরাহ সমর্থন |
N/A |
N/A |
CCSS, LCSS |
|
নিষ্কাশন ব্যবস্থাপনা |
N/A |
N/A |
পৃথক নিষ্কাশন (অ্যাসিড/বেস/জৈব) |
|
অতিরিক্ত বৈশিষ্ট্য |
N/A |
N/A |
রাসায়নিক পুনরুদ্ধার; স্নান ওভারহিটিং সুরক্ষা; ফুটো |
|
যোগাযোগ প্রোটোকল |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
FAQ
এই মডেলগুলি কোন ওয়েফার আকার সমর্থন করে?
SWC100 / SWC 200 শুধুমাত্র 12-ইঞ্চি ওয়েফার সমর্থন করে; SEC প্লাস 8-12-ইঞ্চি ওয়েফারের জন্য নমনীয়।
SWC100 এবং SWC 200 এর মধ্যে পার্থক্য কি?
তারা একই 12-ইঞ্চি প্রক্রিয়া ক্ষমতা ভাগ করে-SC3100-এর 8টি চেম্বার রয়েছে, যখন SWC 200 উচ্চতর থ্রুপুটের জন্য 12টি চেম্বারে প্রসারিত হয়।
কোন মডেল পাওয়ার ডিভাইস প্রক্রিয়াকরণের জন্য উপযুক্ত?
SEC প্লাস সিলিকন কার্বাইড/সিলিকন পাওয়ার ডিভাইসগুলির জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে (ব্যাকসাইড পাতলা করা, উচ্চ-টেম্প H3PO4 এচিং সমর্থন করে)।
এই সিস্টেমগুলি কি আমাদের ফ্যাবের MES এর সাথে সংযোগ করতে পারে?
হ্যাঁ-সমস্ত মডেল ফ্যাক্টরি ইন্টিগ্রেশনের জন্য SECS/GEM যোগাযোগ প্রোটোকলকে সম্পূর্ণরূপে সমর্থন করে৷
SE সিরিজ কি রাসায়নিক খরচ- সংরক্ষণ বৈশিষ্ট্য সমর্থন করে?
হ্যাঁ, এতে রাসায়নিক পুনরুদ্ধার কার্যকারিতা (প্রক্রিয়া রাসায়নিক পুনর্ব্যবহার) এবং শ্রেণীবদ্ধ বর্জ্য নিষ্কাশন অন্তর্ভুক্ত রয়েছে।
এই সিস্টেমগুলি কি ক্যারিয়ারগুলির সাথে কাজ করে?
SWC100 / SWC 200 ব্যবহার 4FOUP; SEC প্লাস 2-4 ওপেন ক্যাসেট/SMIF/FOUP সমর্থন করে (লেগেসি/আধুনিক লাইনের সাথে খাপ খায়)।
গরম ট্যাগ: একক ওয়েফার ক্লিনার, চীন একক ওয়েফার ক্লিনার নির্মাতারা, সরবরাহকারী
