পণ্য ওভারভিউ
চমৎকার-টেক 8-ইঞ্চি এবং 12-ইঞ্চি RIBS সিস্টেম অফার করে, যা সঠিক উপাদান প্যাটার্নিংয়ের জন্য প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের সাথে শারীরিক স্পুটারিং (প্রথাগত IBS থেকে) একত্রিত করে।
সাধারণ নকশা:প্লাজমা জেনারেশনকে ওয়েফার এলাকা থেকে আলাদা করা হয় যাতে অ-উদ্বায়ী উপজাত হস্তক্ষেপ না হয়; উভয় সমর্থন স্টেজ টিল্ট/ঘূর্ণন এবং একক/ক্লাস্টার চেম্বার সেটআপ।
পার্থক্য:12-ইঞ্চিটি একটি বড় ব্যাসের আয়ন উত্স সহ 12-ইঞ্চি ওয়েফার ভর উৎপাদনের জন্য তৈরি করা হয়েছে; 8-ইঞ্চি 8/6/4-ইঞ্চি ওয়েফারের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ, মাঝারি-ছোট উত্পাদন এবং R&D-এর জন্য আদর্শ।
সুবিধা
সাধারণ সুবিধা
- বাড়ানো দক্ষতা এবং নির্ভুলতা: পদার্থবিদ্যা এবং রসায়নের মিশ্রণ উপাদান অপসারণের হার এবং মুখোশ নির্বাচনকে উন্নত করে। আয়ন রশ্মি শক্তি এবং ফ্লাক্সের উপর স্বাধীন নিয়ন্ত্রণ তীক্ষ্ণ, সঠিক প্যাটার্ন morphologies নিশ্চিত করে।
- নমনীয় প্রক্রিয়া অভিযোজনযোগ্যতা: সুনির্দিষ্ট সাইডওয়াল অ্যাঙ্গেল টিউনিংয়ের জন্য স্টেজ টিল্ট -90 ডিগ্রি থেকে +80 ডিগ্রি পর্যন্ত। ঘূর্ণনযোগ্য পর্যায় অভিন্নতা বাড়ায়, বিশেষ আকৃতির ডিভাইস তৈরির জন্য পুরোপুরি উপযুক্ত।
- বিস্তৃত উপাদান সামঞ্জস্য: ধাতু, সংকর, অক্সাইড এবং যৌগিক অর্ধপরিবাহী-এমনকি সবচেয়ে জটিল উপাদান প্যাটার্নিং চ্যালেঞ্জ মোকাবেলা করে নির্বিঘ্নে কাজ করে।
পার্থক্যযুক্ত সুবিধা
- 12-ইঞ্চি: একটি বৃহৎ-ব্যাসের আয়ন উৎস সরবরাহ করে<1% etch uniformity (1σ). Ideal for high-precision 12-inch advanced processes.
- 8-ইঞ্চি: অফার<3% uniformity in a compact, cost-effective design. Compatible with multi-size wafers, making it perfect for mature nodes and R&D projects.
অ্যাপ্লিকেশন
সাধারণ অ্যাপ্লিকেশন
1. বিশেষ অপটিক্যাল স্ট্রাকচার: অপটিক্যাল কমিউনিকেশন সিস্টেম এবং লেজার প্রযুক্তির জন্য তির্যক এবং ব্লেজড গ্রেটিং-আমাদের শিল্প-নেতৃস্থানীয় ক্ষমতা- সরবরাহ করে।
2. জটিল সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস: প্যাটার্ন মাল্টি-স্তরের ধাতব স্ট্যাক এবং হেটারোজাংশন, উচ্চ-চাহিদার অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে নির্ভরযোগ্য ডিভাইসের কার্যকারিতা নিশ্চিত করে৷
3. উচ্চ-নির্ভুল সেন্সর: অতি-নির্ভুল মাইক্রোস্ট্রাকচার সহ MEMS এবং অপটিক্যাল সেন্সর তৈরি করে, সরাসরি সেন্সরের সংবেদনশীলতা এবং অপারেশনাল স্থায়িত্ব বাড়ায়।
পার্থক্যযুক্ত অ্যাপ্লিকেশন
1. 12-ইঞ্চি: 12-ইঞ্চি উন্নত প্রোডাকশন লাইনের জন্য একটি ভিত্তি-এমআরএএম/পিসিআরএএম কার্যকরী স্তর এবং সিলিকন ফোটোনিক্স চিপ মনে করুন। বিদ্যমান 12-ইঞ্চি উত্পাদন কর্মপ্রবাহের সাথে নির্বিঘ্নে সংহত করে।
2. 8-ইঞ্চি: 8-ইঞ্চি পরিপক্ক নোড (0.11μm এর চেয়ে বড় বা সমান) এবং R&D প্রকল্পের জন্য আদর্শ, যেমন ক্ষুদ্রাকৃতির অপটিক্যাল সেন্সর এবং বিশেষায়িত MEMS। বিভিন্ন উন্নয়ন চাহিদা মাপসই নমনীয় ওয়েফার আকার স্যুইচিং সমর্থন করে।
পরামিতি
|
শ্রেণী |
8-ইঞ্চি RIBS সিস্টেম |
12-ইঞ্চি RIBS সিস্টেম |
|
ওয়েফার সামঞ্জস্য |
8-ইঞ্চি (প্রাথমিক); 6-ইঞ্চি/4-ইঞ্চি (ঐচ্ছিক, সামঞ্জস্যপূর্ণ ইলেক্ট্রোডের মাধ্যমে) |
12-ইঞ্চি (একচেটিয়া) |
|
ইচ অভিন্নতা (1σ) |
<3% (standard ion source configuration) |
<1% (large-diameter ion source as standard, for high-precision 12-inch wafer processing) |
|
আয়ন রশ্মি নিয়ন্ত্রণ |
আয়ন রশ্মি শক্তি এবং প্রবাহের স্বাধীন সমন্বয় (প্যাটার্ন নীচের কোণ এবং সমতলতার সুনির্দিষ্ট টিউনিং সক্ষম করে) |
আয়ন রশ্মি শক্তি এবং প্রবাহের স্বাধীন সমন্বয় (উন্নত প্রক্রিয়া রূপবিদ্যার উপর সঠিক নিয়ন্ত্রণ নিশ্চিত করে) |
|
স্টেজ টিল্ট রেঞ্জ |
-90 ডিগ্রী থেকে +80 ডিগ্রী (সাইডওয়াল কোণ নিয়ন্ত্রণের জন্য কাত আয়ন রশ্মির ঘটনা উপলব্ধি করে) |
-90 ডিগ্রী থেকে +80 ডিগ্রী (জটিল প্যাটার্ন সাইডওয়ালের প্রয়োজনীয়তা মেটাতে কাত হওয়া ঘটনা সমর্থন করে) |
|
স্টেজ ফাংশন |
প্রক্রিয়া চলাকালীন ঘূর্ণনযোগ্য (প্রক্রিয়ার অক্ষের প্রতিসাম্য বাড়ায় এবং-ওয়েফার অভিন্নতার মধ্যে) |
প্রক্রিয়া চলাকালীন ঘূর্ণনযোগ্য (বড় 12-ইঞ্চি ওয়েফার জুড়ে ধারাবাহিক প্রক্রিয়াকরণের গুণমানের গ্যারান্টি দেয়) |
|
প্রক্রিয়া পরিবেশ |
উচ্চ- ভ্যাকুয়াম পরিবেশ (পরিবেষ্টিত হস্তক্ষেপ হ্রাস করে, স্থিতিশীল রাসায়নিক বিক্রিয়া এবং স্পুটারিং নিশ্চিত করে) |
উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পরিবেশ (ভৌত স্পুটারিং এবং রাসায়নিক বিক্রিয়ার নির্ভরযোগ্য সমন্বয় বজায় রাখে) |
|
চেম্বার কনফিগারেশন |
একক-চেম্বার বা ক্লাস্টার কনফিগারেশন (ঐচ্ছিক, ছোট-মাঝারি উত্পাদন এবং গবেষণা ও উন্নয়নের জন্য উপযুক্ত) |
বিভিন্ন ক্লাস্টার সিস্টেমে একীভূত করা যায় (বড়-স্কেল 12-ইঞ্চি উন্নত প্রক্রিয়া লাইনের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ) |
|
উপাদান সামঞ্জস্য |
ধাতু, খাদ, অক্সাইড, যৌগিক অর্ধপরিবাহী, অন্তরক (জটিল উপাদান প্যাটার্নিং চ্যালেঞ্জ সমাধান করে) |
ধাতু, সংকর ধাতু, অক্সাইড, যৌগিক অর্ধপরিবাহী, এবং মাল্টি-স্তর স্ট্যাক (উন্নত ডিভাইস উত্পাদন প্রয়োজনের সাথে মানানসই) |
|
কোর অ্যাপ্লিকেশন দৃশ্যকল্প |
8-ইঞ্চি পরিপক্ক প্রক্রিয়া নোড (0.11μm এর চেয়ে বড় বা সমান), মিনি অপটিক্যাল সেন্সর, বিশেষ MEMS R&D, ছোট-ব্যাচ জটিল উপাদান উত্পাদন |
12-ইঞ্চি উন্নত প্রক্রিয়া (যেমন, MRAM/PCRAM কার্যকরী স্তর), সিলিকন ফোটোনিক্স চিপস, বড়-স্কেল উচ্চ-নির্ভুলতা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন |
FAQ
প্রশ্ন: 8-ইঞ্চি এবং 12-ইঞ্চি RIBS সিস্টেমের মধ্যে মূল পার্থক্য কী?
উত্তর: 12-ইঞ্চি লক্ষ্য উচ্চ-নির্ভুল 12-ইঞ্চি ভর উৎপাদন; 8-ইঞ্চি পরিপক্ক নোড এবং R&D-এর জন্য মাল্টি-সাইজ ওয়েফার (8/6/4-ইঞ্চি) ফিট করে।
প্রশ্ন: তারা কি উপকরণ প্রক্রিয়া করতে পারে?
উত্তর: উভয়ই ধাতু, সংকর ধাতু, অক্সাইড, যৌগিক অর্ধপরিবাহী এবং ইনসুলেটর পরিচালনা করে।
প্রশ্নঃ তারা কি বিশেষ অপটিক্যাল স্ট্রাকচার তৈরি করতে পারে?
উত্তর: হ্যাঁ, উভয়ই শিল্পের-নেতৃস্থানীয় সক্ষমতার সাথে তির্যক/ব্লাজড গ্রেটিং-এ এক্সেল।
প্রশ্ন: সিস্টেমগুলি বিদ্যমান উত্পাদন লাইনের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ?
উত্তর: হ্যাঁ, উভয়ই ক্লাস্টার কনফিগারেশন সমর্থন করে এবং সহজ ইন্টিগ্রেশনের জন্য সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের মান মেনে চলে।
গরম ট্যাগ: বিপরীত মরীচি শেপিং সিস্টেম, চীন বিপরীত মরীচি শেপিং সিস্টেম নির্মাতারা, সরবরাহকারী
