পণ্য ওভারভিউ
চমৎকার-টেক বিভিন্ন ওয়েফার আকারের জন্য দুটি ভর-প্রোডাকশন মেটাল এচিং সিস্টেম অফার করে, উভয়ই আইসিপি প্রযুক্তির উপর ভিত্তি করে এবং আইসি ব্যাক-এন্ড (BEOL) মেটাল প্রসেসিংয়ের জন্য তৈরি।
12-ইঞ্চি সিস্টেম MES 12
12-ইঞ্চি IC BEOL-এ সাব-0.18μm উচ্চ-ঘনত্ব আল আন্তঃসংযোগগুলিতে ফোকাস করে৷ এতে আইসিপি এচ চেম্বার, ডেসকাম চেম্বার এবং একটি ট্রান্সফার মডিউল রয়েছে এবং এটি আল প্যাড এচিংকেও সমর্থন করে।
8-ইঞ্চি সিস্টেম MES 8
দুটি মডেল পাওয়া যায়-MES 800 ( কম বা সমান 8% এর মধ্যে-wafer/<=5% wafer-to-wafer unformity, 8,000pcs/month for 4μm Al) এবং MES 800P (লেস 800P (লেস 5% বা এর সমান{1} এর চেয়ে কম বা সমান{1} 3% ওয়েফার-থেকে-ওয়েফারের অভিন্নতা, 0.1μm Al, 400 RF-h MTBC এর জন্য 20,000pcs/মাস)
সুবিধা
উচ্চ নির্ভুলতা এবং স্থায়িত্ব
12-ইঞ্চি সিস্টেম সাব-0.18μm প্রক্রিয়ায় ফিট করে; 8-ইঞ্চি M2 আরও ভাল অভিন্নতা এবং দীর্ঘস্থায়ী অপারেশন (400 RF-h MTBC) অফার করে।
ক্ষমতা এবং খরচ দক্ষতা
12-ইঞ্চি সিস্টেম উচ্চ-শেষ বড়-স্কেল লাইন পরিবেশন করে; 8-ইঞ্চি মডেলগুলি স্থান-সংরক্ষণের নকশা সহ নমনীয় ক্ষমতা (8,000-20,000pcs/মাস) প্রদান করে।
বিস্তৃত সামঞ্জস্য
12-ইঞ্চি সিস্টেম আল ইন্টারকানেক্ট/প্যাড কভার করে; 8-ইঞ্চি সিস্টেম W recess সমর্থন করে, এবং Kessel Pishow M ঐচ্ছিক ESC এর মাধ্যমে 6-ইঞ্চি ওয়েফারের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
অ্যাপ্লিকেশন
IC BEOL মেটাল ইন্টারকানেক্ট করে
সাব-0.18μm 12-ইঞ্চি আল ইন্টারকানেক্ট/প্যাডের জন্য 12-ইঞ্চি সিস্টেম; 8-ইঞ্চি Al প্রক্রিয়াকরণের জন্য 8-ইঞ্চি সিস্টেম (0.1μm নোডের জন্য M2)।
মাল্টি-আকার/প্রসেস প্রক্রিয়াকরণ
8-ইঞ্চি MES 800 ফিট 6-ইঞ্চি ওয়েফার; উভয় 8-ইঞ্চি মডেল W রিসেস সমর্থন করে।
ক্ষমতা আপগ্রেড
12-ইঞ্চি সিস্টেম বড় ফ্যাবগুলির উচ্চ-শেষ ক্ষমতা সম্প্রসারণে সহায়তা করে; 8-ইঞ্চি মডেল (মাঝারি-ছোট লাইনের জন্য M, উচ্চ-দক্ষতা স্কেলিং-এর জন্য M2)।
পরামিতি
|
শ্রেণী |
12-ইঞ্চি মেটাল এচিং সিস্টেম (MES 12) |
8-ইঞ্চি মেটাল এচিং সিস্টেম (MES 800) |
8-ইঞ্চি মেটাল এচিং সিস্টেম (MES 800P) |
|
ওয়েফার সামঞ্জস্য |
12-ইঞ্চি (300mm) IC ওয়েফার; সাব-0.18μm প্রযুক্তি নোডের জন্য তৈরি |
8-ইঞ্চি আইসি ওয়েফার; ঐচ্ছিক ESC এর মাধ্যমে 6-ইঞ্চি ওয়েফারের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ |
8-ইঞ্চি আইসি ওয়েফার; 0.1μm প্রযুক্তি নোডের জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে |
|
চেম্বার কনফিগারেশন |
আইসিপি ইচ চেম্বার + ডেসকাম চেম্বার + স্থানান্তর মডিউল |
আইসিপি ইচ চেম্বার + স্থানান্তর মডিউল |
আইসিপি ইচ চেম্বার + স্থানান্তর মডিউল |
|
মূল প্রক্রিয়া ক্ষমতা |
উচ্চ-ঘনত্ব আল ইন্টারকানেক্ট এচিং, আল প্যাড এচিং (BEOL প্রসেস) |
আল ইন্টারকানেক্ট এচিং, আল প্যাড এচিং, ডব্লিউ রিসেস |
উচ্চ-নির্ভুল আল ইন্টারকানেক্ট এচিং, আল প্যাড এচিং, ডব্লিউ রিসেস |
|
Etch অভিন্নতা |
শিল্প-উপ-0.18μm উচ্চ-ঘনত্ব প্রক্রিয়াগুলির জন্য অগ্রণী অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণ |
ওয়েফারের মধ্যে 8% এর কম বা সমান-; 5% ওয়েফার-থেকে-ওয়েফারের কম বা সমান |
ওয়েফারের মধ্যে 5% এর কম বা সমান-; 3% ওয়েফার-থেকে-ওয়েফারের কম বা সমান |
|
মাসিক ক্ষমতা |
উচ্চ-12-ইঞ্চি IC BEOL ভর উৎপাদনের জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে (বড় ফ্যাব থ্রুপুট মেলে) |
8,000 পিস/মাস পর্যন্ত (4μm-মোটা আল এচিংয়ের জন্য) |
20,000 পিস/মাস পর্যন্ত (0.1μm-নোড আল ইন্টারকানেক্ট এচিংয়ের জন্য) |
|
এমটিবিসি |
12-ইঞ্চি IC ভর-উৎপাদন স্থিতিশীলতার মান পূরণ করে |
8-ইঞ্চি ফ্যাব মৌলিক স্থিতিশীলতার প্রয়োজনীয়তার সাথে সারিবদ্ধ |
400 RF-h পর্যন্ত (উচ্চ-থ্রুপুট উৎপাদনের জন্য উন্নত স্থিতিশীলতা) |
|
শিল্প সম্মতি |
12-ইঞ্চি IC BEOL লাইনের জন্য অর্ধপরিবাহী ভর-উৎপাদন মানগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ |
8-ইঞ্চি আইসি ফ্যাব স্পেস এবং খরচ চাহিদা ফিট করে; মূলধারার BEOL কর্মপ্রবাহের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ |
উচ্চ-দক্ষতা 8-ইঞ্চি আইসি ভর উৎপাদনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; উন্নত নোড স্থায়িত্ব এবং ফলন প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে |
FAQ
প্রশ্ন: সিস্টেমগুলি কোন ওয়েফারের আকার সমর্থন করে?
A: 12-ইঞ্চি সিস্টেম: 12-ইঞ্চি (300mm) IC ওয়েফার; 8-ইঞ্চি সিস্টেম: 8-ইঞ্চি আইসি ওয়েফার (এমইএস 800 ঐচ্ছিক ESC মাধ্যমে 6-ইঞ্চির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ)।
প্রশ্ন: তারা কোন মূল প্রক্রিয়াগুলি কভার করে?
উত্তর: সমস্ত সমর্থন আল ইন্টারকানেক্ট/প্যাড এচিং; 8-ইঞ্চি মডেল W Recess সামঞ্জস্য যোগ করে।
প্রশ্ন: 8 ইঞ্চি মডেলের মাসিক ক্ষমতা কত?
A: MES 800: 8,000pcs (4μm Al); MES 800P: 20,000pcs (0.1μm Al)
প্রশ্নঃ MES 800P এর MTBC কি?
উ: বর্ধিত উচ্চ-থ্রুপুট স্থিতিশীলতার জন্য 400 RF-h পর্যন্ত।
গরম ট্যাগ: মেটাল এচিং সিস্টেম, চায়না মেটাল এচিং সিস্টেম নির্মাতারা, সরবরাহকারী
