পণ্য ওভারভিউ
চমৎকার-টেক বিভিন্ন ওয়েফার আকারের জন্য দুটি ডেডিকেটেড সিলিকন এচিং সিস্টেম অফার করে, উভয়ই ICP প্রযুক্তির উপর ভিত্তি করে এবং IC ব্যাপক উৎপাদনের জন্য তৈরি।
12-ইঞ্চি সিস্টেম (SES-12)
12-ইঞ্চি IC ফ্রন্ট-এন্ড (FEOL) প্রক্রিয়াগুলিতে ফোকাস করে৷ আইসিপি ইচ চেম্বার এবং একটি ট্রান্সফার মডিউলের সমন্বয়ে গঠিত, এটি সিলিকন ইচ, ডাইলেকট্রিক ইচ, গেট ইচ, ডব্লিউ রিসেস এবং SADP কভার করে, যা লজিক এবং মেমরি ডিভাইসের উচ্চ-নির্ভুল প্যাটার্নিংয়ের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
8-ইঞ্চি সিস্টেম (SES-8)
8-ইঞ্চি ফ্যাবসের জন্য একটি মাল্টি-চেম্বার সিস্টেম, গেট প্রক্রিয়াকে কেন্দ্র করে। এটি ওয়েফার এবং ওয়েফার-টু-ওয়েফার এচের অভিন্নতা, চমৎকার কণা নিয়ন্ত্রণ, এবং AA, STI, স্পেসার, এবং W রিসেস সমর্থন করে এর মধ্যে 5% এর কম বা সমান।
সুবিধা
প্রশস্ত প্রক্রিয়া কভারেজ
আমরা এখানে দুটি প্রধান সেটআপ পেয়েছি. 12-ইঞ্চি সিস্টেমটি সমস্ত ধরণের FEOL প্রক্রিয়া গ্রহণ করে, কোন সমস্যা নেই। 8 ইঞ্চি এক হিসাবে? এটি গেট এবং সম্পর্কিত প্রক্রিয়াগুলির উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে এবং এটি 0.11μm এবং তার উপরে নোডগুলির সাথে পুরোপুরি ফিট করে৷
উচ্চ নির্ভুলতা এবং স্থায়িত্ব
নির্ভুলতা যেখানে এই সিস্টেম চকমক. 12-ইঞ্চি মডেলটি শীর্ষ-স্তরের অভিন্নতা এবং এচ সিলেক্টিভিটি প্রদান করে - ঠিক ঠিক কী উন্নত প্রক্রিয়ার চাহিদা। 8-ইঞ্চি সংস্করণের নিজস্বও রয়েছে: কম অভিন্নতা বিচ্যুতি, এবং কঠোর কণা নিয়ন্ত্রণ, যাতে আপনি ধারাবাহিক ফলাফলের উপর নির্ভর করতে পারেন।
ভর-উৎপাদন এবং খরচ-দক্ষতা
সর্বোপরি, উভয়ই ব্যাপক উত্পাদনের জন্য প্রস্তুত। 12-ইঞ্চি বড়-স্কেলের উত্পাদন লাইনের জন্য তৈরি করা হয়েছে, যা উচ্চ-ভলিউম রানের জন্য অর্থবহ৷ 8-ইঞ্চি, যদিও, আপনি যদি ক্ষমতা আপগ্রেড করেন তবে এটি একটি স্মার্ট বাছাই-এটি স্থান এবং খরচ উভয়ই সাশ্রয় করে, যা সর্বদা অপারেশনের জন্য একটি প্লাস।
আবেদন
IC FEOL উত্পাদন
12-ইঞ্চি লজিক/মেমরি FEOL প্রক্রিয়ার জন্য 12-ইঞ্চি সিস্টেম; 8-ইঞ্চি গেট এচিংয়ের জন্য 8-ইঞ্চি সিস্টেম।
উন্নত প্রক্রিয়া
12-ইঞ্চি সিস্টেম SADP/W রিসেস সমর্থন করে; 8-ইঞ্চি সিস্টেম STI/স্পেসার প্রক্রিয়ার জন্য কাজ করে।
ক্ষমতা আপগ্রেড
12-ইঞ্চি বড় ফ্যাবগুলিতে একীভূত হয়; 8-ইঞ্চি মধ্য-ছোট ফ্যাবগুলির জন্য সাশ্রয়ী সহায়তা প্রদান করে৷
পরামিতি
|
শ্রেণী |
12-ইঞ্চি সিলিকন এচিং সিস্টেম |
8-ইঞ্চি সিলিকন এচিং সিস্টেম |
|
ওয়েফার সামঞ্জস্য |
12-ইঞ্চি (300mm) IC ওয়েফার, ভর-উৎপাদন লাইনের জন্য কাস্টমাইজ করা হয়েছে |
8-ইঞ্চি আইসি ওয়েফার; 0.11μm এবং উন্নত প্রযুক্তির নোডের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ |
|
চেম্বার কনফিগারেশন |
আইসিপি ইচ চেম্বার + স্থানান্তর মডিউল |
আইসিপি এচ চেম্বার + স্থানান্তর মডিউল; ব্যাপক উৎপাদনের জন্য মাল্টি-চেম্বারের নকশা |
|
মূল প্রক্রিয়া ক্ষমতা |
সিলিকন এচ, ডাইলেকট্রিক এচ, গেট এচ, ডব্লিউ রিসেস, এসএডিপি |
গেট এচ, এএ, এসটিআই, স্পেসার এচ, ডব্লিউ রিসেস |
|
Etch অভিন্নতা |
উচ্চতর অভিন্নতা নিয়ন্ত্রণ (উন্নত নোড নির্ভুলতা মান পূরণ করে) |
ওয়েফারের মধ্যে 5% এর কম বা সমান-; 5% ওয়েফার-থেকে-ওয়েফারের কম বা সমান |
|
কণা নিয়ন্ত্রণ |
উচ্চ পণ্য ফলনের জন্য কঠোর কণা নিয়ন্ত্রণ |
স্থিতিশীল ভর উৎপাদনের জন্য চমৎকার কণা নিয়ন্ত্রণ |
|
শিল্প সম্মতি |
12-ইঞ্চি আইসি ভলিউম উৎপাদনের জন্য উপযুক্ত; সেমিকন্ডাক্টর ভর-উৎপাদন মান মেনে চলে |
স্বাধীন অপ্টিমাইজড নকশা; 8-ইঞ্চি ফ্যাব স্পেস এবং ক্ষমতা আপগ্রেডের জন্য খরচের চাহিদা ফিট করে |
FAQ
প্রশ্ন: দুটি সিস্টেম কোন ওয়েফার মাপ সমর্থন করে?
উত্তর: 12-ইঞ্চি সিস্টেম 12-ইঞ্চি (300mm) IC ওয়েফার সমর্থন করে এবং 8-ইঞ্চি সিস্টেম 8-ইঞ্চি IC ওয়েফার সমর্থন করে।
প্রশ্ন: তারা কোন মূল প্রক্রিয়াগুলি কভার করে?
উত্তর: 12-ইঞ্চি সিস্টেম সিলিকন ইচ, ডাইলেক্ট্রিক ইচ, SADP, W রিসেস, ইত্যাদি কভার করে; 8-ইঞ্চি সিস্টেমটি গেট এচের উপর ফোকাস করে এবং STI, স্পেসার ইচ ইত্যাদি সমর্থন করে।
প্রশ্ন: তারা কোন প্রযুক্তি নোডের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ?
উত্তর: 12-ইঞ্চি সিস্টেম উন্নত প্রযুক্তির নোডগুলির সাথে খাপ খায়; 8-ইঞ্চি সিস্টেমটি 0.11μm এবং তার উপরে উন্নত নোডের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
প্রশ্ন: উভয় সিস্টেমই কি ভর উৎপাদনের জন্য উপযুক্ত?
উঃ হ্যাঁ। 12-ইঞ্চি সিস্টেমটি বড়-স্কেলের উত্পাদন লাইনের সাথে ফিট করে, যখন 8-ইঞ্চি সিস্টেমটি স্থান-সংরক্ষণ এবং ব্যাপক উৎপাদনের জন্য সাশ্রয়ী।
প্রশ্ন: 8-ইঞ্চি সিস্টেমের এচ অভিন্নতা কী?
উত্তর: এটির ওয়েফার একরূপতার মধ্যে 5% এর কম বা সমান এবং 5% ওয়েফার-থেকে-ওয়েফার অভিন্নতার কম বা সমান।
গরম ট্যাগ: সিলিকন এচিং সিস্টেম, চায়না সিলিকন এচিং সিস্টেম নির্মাতারা, সরবরাহকারী
