ত্রিমাত্রিক অপটিক্যাল প্রোফাইলোমিটার সাদা আলোর হস্তক্ষেপ বা কনফোকাল প্রযুক্তির মাধ্যমে মাইক্রোমিটার থেকে ন্যানোমিটার স্তরের নির্ভুলতা পরিমাপ অর্জন করে এবং কঠিন পদার্থের পৃষ্ঠের ত্রিমাত্রিক রূপবিদ্যা, রুক্ষতা এবং কনট্যুর বিশ্লেষণ করে। এই যন্ত্রটিতে যোগাযোগের পরিমাপের বৈশিষ্ট্য নেই, যা পরিমাপ করা পৃষ্ঠের ক্ষতি এড়ায় এবং স্বচ্ছ/ধাতু/উচ্চ প্রতিফলনের মতো বিভিন্ন উপাদানের জন্য উপযুক্ত। যান্ত্রিক উত্পাদন, অর্ধপরিবাহী, মহাকাশ, ইত্যাদি ক্ষেত্রে, 3D অপটিক্যাল প্রোফাইলোমিটারগুলি গুণমান নিয়ন্ত্রণ, প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণ এবং পণ্য বিকাশে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
2025 সাল নাগাদ, ZeGage Pro এবং SuperViewW1-এর মতো মূলধারার মডেলগুলিতে সিসমিক কর্মক্ষমতা এবং স্বয়ংক্রিয় পরিমাপ ক্ষমতা উভয়ই থাকবে, পরিমাপের নির্ভুলতা 0.1nm মাত্রা ছাড়িয়ে যাবে। যন্ত্রটির কার্যাবলীর মধ্যে রয়েছে মাইক্রো আকারবিদ্যা বিশ্লেষণ, বক্রতা গণনা এবং পাতলা ফিল্ম বৈশিষ্ট্য সনাক্তকরণ, যা ISO 25178 মান মেনে চলে এবং আধুনিক নির্ভুলতা উত্পাদনের জন্য মূল সনাক্তকরণ সরঞ্জাম হয়ে উঠেছে।

