আপনার ল্যাব বা ছোট উত্পাদন স্থান দখল করা ভারী যন্ত্রপাতি ক্লান্ত? RTP-100 ডেস্কটপ RTP সিস্টেম ছোট ওয়েফারের জন্য তৈরি করা হয়েছে (6 ইঞ্চি সর্বোচ্চ)-যেসব দলের জন্য বর্গাকার ফুটেজ ত্যাগ না করে নির্ভুলতার প্রয়োজন। এটি সহজবোধ্য, নির্ভরযোগ্য এবং গবেষক এবং ছোট-ব্যাচ নির্মাতাদের দৈনন্দিন প্রয়োজনের জন্য তৈরি।
আমরা এটা সম্পর্কে কি ভালোবাসি
একটি দস্তানা মত ফিট: 910 mm×860 mm×695 mm (W×D×H), এটি আঁটসাঁট কোণে বা ভিড়যুক্ত ওয়ার্কবেঞ্চে স্লিপ করে। শুধুমাত্র তাপ প্রক্রিয়াকরণ ক্ষমতা যোগ করার জন্য আপনার সম্পূর্ণ সেটআপ পুনর্বিন্যাস করার প্রয়োজন নেই।
তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ আপনি উপর নির্ভর করতে পারেন: ঘরের তাপমাত্রা ৮০০ ডিগ্রি পর্যন্ত তাপ-থার্মোকল এবং ৫০০ ডিগ্রি থেকে ১২০০ ডিগ্রি পর্যন্ত ইনফ্রারেড পাইরোমিটার নিয়ন্ত্রণ করার দুটি উপায়। ওয়েফারকে 150 ডিগ্রি / সেকেন্ড পর্যন্ত উত্তপ্ত করে (SIC বা গ্রাফাইট বাহকের তুলনায় দ্রুত, যা 20-30 ডিগ্রি / সেকেন্ডে ক্যাপ করে)। আর ধারাবাহিকতা? 600 ডিগ্রির নিচে ±3 ডিগ্রি ইউনিফর্মের চেয়ে কম বা সমান, তার উপরে ±0.5% এর চেয়ে কম বা সমান, প্লাস ±1 ডিগ্রি পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা-তাই আপনার ফলাফল ব্যাচ থেকে ব্যাচে পরিবর্তিত হবে না।
কোন-কোন হট্টগোল: ম্যানুয়াল লোডিং/আনলোডিং জিনিসগুলিকে সহজ রাখে (আপনি যদি নিয়ন্ত্রণে হাত পছন্দ করেন-তাহলে দুর্দান্ত), যখন একটি বুজার এবং সতর্কতা বাতি আপনাকে কিছু বন্ধ থাকলে তা জানায়৷ পিসি কন্ট্রোল প্যারামিটার টুইকিং সহজ করে তোলে,-কোন জটিল প্রশিক্ষণের প্রয়োজন নেই৷
মৌলিক বিষয়গুলি কভার করে (এবং তারপর কিছু): 30 mTorr পর্যন্ত ভ্যাকুয়াম পরিচালনা করে, 3ppm এর নিচে অক্সিজেন রাখে এবং 4টি MFC চ্যানেল পর্যন্ত সমর্থন করে। আপনি আয়ন ইমপ্লান্টেশন অ্যানিলিং, অক্সাইড বৃদ্ধি, বা ছোট নমুনা তাপ চিকিত্সা করছেন না কেন, এটি প্রাথমিক দ্রুত তাপ প্রক্রিয়াকরণের জন্য সমস্ত বাক্স পরীক্ষা করে।
এটা কার জন্য
এটি বড়-স্কেল কারখানার জন্য নয়-এটি প্রতিদিনের পরীক্ষা-নিরীক্ষা চালানো ল্যাব টেকের জন্য, ছোট প্রস্তুতকারক কাস্টম উপাদানগুলি মন্থন করে, বা গবেষণা দল নতুন উপকরণ পরীক্ষা করে৷ আপনি যদি ছোট ওয়েফারের সাথে কাজ করেন এবং শিল্প-আকারের গিয়ারের ঝামেলা ছাড়াই ধারাবাহিক ফলাফলের প্রয়োজন হয় তবে এটি আপনার জন্য।
এটি সঠিকভাবে ব্যবহার করার জন্য দ্রুত টিপস
তাপমাত্রা মোড স্যুইচিং: 800 ডিগ্রী পর্যন্ত তাপমাত্রার জন্য থার্মোকল ব্যবহার করুন এবং আরও গরম কিছুর জন্য পিসি সফ্টওয়্যারে ইনফ্রারেডে ফ্লিপ করুন৷ সিস্টেমটি স্বয়ংক্রিয়ভাবে ক্যালিব্রেট করে-সুন্দর স্পর্শ।
ওয়েফার লোড হচ্ছে: পরিষ্কার গ্লাভস এড়িয়ে যাবেন না! আঙুলের ছাপ বা ধূলিকণার ফলাফল। মৃদুভাবে হ্যান্ডেল করুন, কোন ড্রপ না, এবং নিশ্চিত করুন যে এটি ক্যারিয়ারের উপর কেন্দ্রীভূত-সাধারণ পদক্ষেপ যা পরে মাথাব্যথা বাঁচায়।
সাধারণ সংশোধন: যদি বাজার স্টার্টআপে বন্ধ হয়ে যায়, প্রথমে পরীক্ষা করুন যে গহ্বরের দরজাটি শক্তভাবে লক করা আছে কিনা (আমরা সবাই এটি ভুলে গেছি!) যদি গরম করার হার 150 ডিগ্রি / সেকেন্ডে না যায়, তবে নিশ্চিত করুন যে আপনি এমন একটি ক্যারিয়ার ব্যবহার করছেন না-যারা এটিকে ধীর করে দেয়। এবং যদি আপনার ওয়েফারগুলি অপ্রত্যাশিতভাবে অক্সিডাইজ হয়, তবে ভ্যাকুয়াম (30 mTorr এর থেকে কম বা সমান হওয়া উচিত) এবং অক্সিজেনের মাত্রা (এটি রাখুন) দুবার পরীক্ষা করুন<3 ppm).
রক্ষণাবেক্ষণ যে গুরুত্বপূর্ণ: কোয়ার্টজ চেম্বারটি সাপ্তাহিক অ্যালকোহল দিয়ে মুছুন-আপনার ধারণার চেয়ে দ্রুত গ্রাইম তৈরি হয়৷ প্রতি 3 মাস অন্তর বাতি পরীক্ষা করুন (1000 ঘন্টা পরে প্রতিস্থাপন করুন) এবং ফাটলের জন্য মাসিক সিলিং রিংগুলি। ওহ, এবং জলের ঠাণ্ডাকে 70 ডিগ্রির উপরে যেতে দেবেন না -এটি অংশগুলিকে ক্ষতিগ্রস্ত করার একটি দ্রুত উপায়।
একটি কঠিন কাজের ঘোড়া
SEMI S2 স্ট্যান্ডার্ডে প্রত্যয়িত, এই জিনিসটি স্থায়ীভাবে তৈরি করা হয়েছে। এটিতে চটকদার অতিরিক্ত বৈশিষ্ট্য নেই যা আপনি কখনই ব্যবহার করবেন না, তবে এটি প্রয়োজনীয় জিনিসগুলিকে পেরেক দেয়: নির্ভুলতা, কম্প্যাক্টনেস এবং ব্যবহারের সহজলভ্যতা। ল্যাব এবং ছোট দলগুলির জন্য একটি তাপ প্রক্রিয়াকরণ সমাধান প্রয়োজন যা দিনে দিনে কাজ করে, RTP-100 একটি নো-ব্রেইনার। এটি নিখুঁত নয় (কিছুই নয়!), তবে এটি নির্ভরযোগ্য-এবং আপনি যখন পরীক্ষা বা উৎপাদন ট্র্যাকে রাখার চেষ্টা করছেন তখন এটিই গুরুত্বপূর্ণ।
