ফটোরেসিস্ট হল পলিমার এবং কিছু যৌগের মিশ্রণ, যার মধ্যে সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ হল একটি ফটো অ্যাসিড জেনারেটর (PAG)। ফোটনগুলি যখন PAG-কে আঘাত করে, তখন একটি অ্যাসিড তৈরি হয় যা পলিমারের সাথে বিক্রিয়া করে, এটিকে পচে যায় এবং এটি বিকাশকারী দ্বারা দ্রবীভূত হয়।
ফটোলিথোগ্রাফি ফটোরেসিস্ট সাধারণত দুই প্রকারে বিভক্ত: ইতিবাচক ফটোরেসিস্ট এবং নেতিবাচক ফটোরেসিস্ট।
ইতিবাচক ফটোরেসিস্ট: উন্মুক্ত অংশটি বিকাশকারী দ্রবণে দ্রবণীয়, যখন অপ্রকাশিত অংশটি বিকাশকারী দ্রবণে অদ্রবণীয়। বিকাশের পরে, সাবস্ট্রেটের অবশিষ্ট ফটোরেসিস্ট প্যাটার্নটি মাস্ক প্লেটের লক্ষ্য প্যাটার্নের মতোই।
নেতিবাচক ফটোরেসিস্ট: উদ্ভাসিত অংশটি বিকাশকারী দ্রবণে অদ্রবণীয়, যখন অপ্রকাশিত অংশটি বিকাশকারী দ্রবণে দ্রবণীয়। বিকাশের পরে সাবস্ট্রেটের অবশিষ্ট ফটোরেসিস্ট প্যাটার্নটি মাস্ক প্লেটের লক্ষ্য প্যাটার্নের পরিপূরক।
তাই, ইতিবাচক ফটোরেসিস্টের জন্য, ফটোলিথোগ্রাফি সম্পন্ন হওয়ার পরে ফটোরেসিস্ট সুরক্ষা ছাড়াই সাবস্ট্রেটকে এচিং করা এবং অবশেষে অবশিষ্ট ফটোরেসিস্টকে ধুয়ে ফেলা, সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলির এক- ধাপ নির্মাণ প্রক্রিয়া অর্জন করে।
